可实现去除光刻胶、晶圆打底胶、晶圆清洁、去除SU-8光刻胶、刻蚀钝化层等功能。

技术指标：

1、最大支持8英寸晶圆；

2、最大功率：600 W，微波频率：2.45 GHz；

3、腔室材料：石英。