主要刻蚀InP、LiNbO₃等材料。

1、最大支持8英寸晶圆；
2、最大支持加热至300 ℃，主要用于对InP、LiNbO₃等材料的干法刻蚀；

3、气路：Ar、O₂、N₂、CH₄、H₂、HBr、Cl₂、BCl₃；

4、刻蚀均匀性≤5%。