氧化物、氮化物生长，硅化物合金退火，砷化镓工艺，欧姆接触快速合金，氧化回流，其他快速热处理工艺。

1、最大支持8英寸晶圆；

2、最高温度可达1400 ℃；最大升温速率160 ℃/s（裸晶圆），最大降温速率≥20 ℃/s；温度均匀性：600 ℃以内±3 ℃，600 ℃以上0.5%；控温精度：±1 ℃；

3、真空度：极限真空≤20 mTorr（3 Pa），真空度漏率：≤20 mTorr/min（2 Pa/min）。