晶圆表面的平坦化。

1、最大支持8英寸晶圆；
2、8英寸工艺指标：不均匀度：≤5%，去边3 mm；表面粗糙度：0.4 nm；
3、6英寸工艺指标：不均匀度：≤5%，去边5 mm；表面粗糙度：0.5 nm；
4、4英寸工艺指标：不均匀度：≤7%，去边5 mm；表面粗糙度：0.7 nm。