前道-槽式晶圆清洗

首页仪器设备各功能区主要设备

中文名：前道-槽式晶圆清洗
英文名：
所属机组：无机湿法台区
仪器型号：
房间：无机湿法台区
负责人：冯建方

晶圆清洗，去除有机物、金属污染物、自然氧化层、颗粒、金属离子等。

1、最大支持8英寸晶圆；
2、可用试剂类型： SPM、DHF、SC1、SC2等。