图形化湿法刻蚀，去除铝、铬、氮化硅、二氧化硅等薄膜材料。

1、最大支持8英寸晶圆；

2、可用试剂类型：酸性刻蚀液，如硝酸/磷酸混合液、硝酸铈铵、磷酸、缓冲氧化物刻蚀液BOE。