欢迎访问中国科大集成电路实验中心!
返回首页
搜索
首页
中心概况
中心介绍
组织机构
专家组成员
规章制度
支撑服务
课程教学
工艺开发
代工服务
科研队伍
教授/研究员
副教授/副研究员
讲师
特任副研究员
仪器设备
各功能区主要设备
测试间设备
厂务配套设备
业务指南
校内用户
校外用户
资源下载
教学课件
常用表格
操作教程
联系我们
各功能区主要设备
测试间设备
厂务配套设备
首页
仪器设备
各功能区主要设备
中文名:
后道-自定义有机工艺台
英文名:
所属机组:
有机湿法台区
仪器型号:
房间:
有机湿法台区
负责人:
冯建方
强力剥离和去除晶圆、光刻掩膜版上的光刻胶和有机残留物, 并支持用户自定义有机实验操作。
1、最大支持8英寸晶圆
2、可用试剂类型:乙醇、丙酮、异丙醇、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等有机试剂。
设备预约