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中文名:后道-自定义有机工艺台
英文名:
所属机组:有机湿法台区
仪器型号:
房间:有机湿法台区
负责人:冯建方

强力剥离和去除晶圆、光刻掩膜版上的光刻胶和有机残留物, 并支持用户自定义有机实验操作。

1、最大支持8英寸晶圆

2、可用试剂类型:乙醇、丙酮、异丙醇、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等有机试剂。

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