利用自行定义和配置的有机溶剂(如丙酮、乙醇、异丙醇)，对样品进行处理,用于实验性工艺调试或处理非标准样品。

1、最大支持8英寸晶圆

2、可用试剂类型：乙醇、丙酮、异丙醇、N-甲基吡咯烷酮（NMP）等有机试剂。