测量薄膜厚度、台阶高度、表面粗糙度等；

1、扫描长度：50 µm-55 mm（自动台200 mm）；

2、垂直测量范围：1 mm；

3、垂直分辨率：最大1 Å（6.5 µm范围)；

4、探针压力：1-15 mg，最小可达0.03 mg；

5、探针曲率半径：0.2-25 µm，标配2 µm；

6、超细探针：50 nm（定制探针）；

7、样品台尺寸：支持8英寸。