高真空热蒸发系统

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中文名：热型原子层沉积
英文名：
所属机组：PVD区
仪器型号：
房间：PVD区
负责人：袁威

制备金属、有机物薄膜、光学薄膜、磁性薄膜等；

1、最大支持8英寸晶圆；

2、膜厚均匀性：≤5%；

3、提供的蒸发源：Al、Ag、Au、Cr、Wu、Cu、C60。