用于以纳米级分辨率对材料表面形貌和物理性质（如粗糙度、力学特性等）进行成像和测量。

1、XY扫描器闭环扫描范围：100 μm×100 μm；Z向扫描器闭环扫描范围：15 μm；
2、同轴光源设计，光学显微镜最小分辨率0.8 μm；
3、最大测试电流范围：-10 μA~10 μA，噪声水平：0.4 pA（RMS，at 10-9 V/Again），测试最小电流：0.5 pA；
4、电动XY样品台，样品台程序控制，自动移动范围不小于20 mm×20 mm，步进定位精度小于1 μm；
5、样品台可放置样品尺寸：100 mm×100 mm×20 mm。