SEM（扫描电子显微镜）是一种高分辨率的显微分析技术，通过聚焦电子束扫描样品表面生成微米至纳米级形貌图像。

1、分辨率：≤0.6 nm@15 kV；≤1.0 nm@1 kV，SE；

2、加速电压范围：20 V~30 kV；
3、束流大小：1 pA~20 nA；
4、放大倍数范围：1x-2500000x；
5、最大样品尺寸：直径260 mm，高70 mm；
6、能谱仪：65 mm²有效面积；
7、阴极荧光探测器：光谱范围 185-1000 nm。