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中文名:热型原子层沉积
英文名:
所属机组:量测区
仪器型号:
房间:量测区
负责人:袁威

膜厚仪是一种用于精确测量材料表面涂层、薄膜或镀层厚度的仪器,广泛应用于电子、光学镀膜、半导体、显示面板及表面处理等工业领域的质量控制和生产检测中。

1、测量厚度范围:15 nm~70 μm

2、波长范围:380-1050 nm

3、准确度:1 nm或0.4%。

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