主要沉积AlN、Mo、AlScN薄膜。

1、多工艺腔室包含AlN薄膜、AlN薄膜、Mo薄膜溅射腔室以及薄膜修整腔室，工艺腔室真空优于5×10⁻⁷ Torr；

2、晶圆尺寸以4英寸为主，AlScN薄膜均匀性：0.2%、AlN薄膜均匀性：0.1%、Mo薄膜均匀性：0.7%。