组织机构

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冯英建电力与自控工程师

负责高低压电力、自控、FMCS等系统的现场调试运维，编制运行方案，处理设备故障，开展定期点检维保。
范远军安全工程师

负责实验中心安全生产措施的规划与管控
朱天抱纯废水工程师

负责纯废水系统的日常运行、维护点检和相关文件资料管理工作
冯建方工艺工程师

1.辅助工艺负责人进行WET/CMP等模块工艺的开发；2.WET/CMP工艺设备日常维护；3.WET/CMP工艺设备预约与使用的规范化管理。
张丽媛工艺工程师

负责化学气相沉积
周旭工艺工程师

负责干法刻蚀设备的工艺

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