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4月29日,集成电路学院微纳加工平台发展研讨会在中国科大高新校区图教中心C101多功能厅召开。会议围绕微纳加工平台建设运营、科教人才培育、产学研用协同、成果落地转化等主题,邀请国内科研院所、知名高校、龙头企业及行业协会权威专家代表齐聚,共话平台建设新规划、共商学科产业融合新路径、共谋集成电路产业自立自强新发展。学院执行院长龙世兵、副院长岳夫永等出席会议,会议由岳夫永主持。 ...
4月14日,集成电路实验中心开放日系列活动第十四场——设备现场精细化培训之紫外曝光机设备专场顺利开展。本次培训聚焦集成电路制造关键装备紫外曝光机,精准对接学科教学与科研实践需求,为参训学生搭建起理论学习与实操认知深度融合的技术平台,持续推动开放日系列活动提质增效、走深走实。 本次培训重点讲解的紫外曝光机,是集成电路芯片制造及微纳器件制备中图形转移工序...
3月19日,集成电路实验中心开放日系列活动第八场——设备现场精细化培训之原子层沉积设备专场顺利开展。本次培训聚焦热型ALD、PEALD两大核心设备,为参训学生带来全流程、专业化的实操与理论教学,进一步夯实集成电路先进工艺实操人才培养基础。 原子层沉积技术是集成电路先进制程、微纳器件制备的关键核心工艺,凭借自限制反应特性,可实现原子级别的薄膜厚度精准控制、完美三维保形覆盖...
3月17日下午,集成电路实验中心开放日系列活动五“设备现场精细化培训”——光学显微镜专场顺利开展。本次培训聚焦光学显微镜的实操应用、维护技巧及在集成电路领域的实战价值。 光学显微镜作为集成电路研发与检测中的基础核心设备,在芯片表面缺陷观察、结构尺寸测量、材料表征等方面发挥着不可替代的作用。本次培训采用“理论讲解+现场实操+答疑解惑”的立体化模式,确保参训学生“听得...
3月16日,集成电路实验中心开放日系列活动五“设备现场精细化培训”——晶圆键合机顺利开展,聚焦半导体核心装备实操能力提升,邀请设备厂商为学生带来专业化的实操培训。活动旨在打通理论与实践的壁垒,让学生近距离接触晶圆键合机,深化对机台的认知,助力培养兼具理论素养与实操能力的集成电路人才。 培训现场,厂商技术人员结合晶圆键合机的核心功能与应用场景,详细讲解了设备的工作...
3月13日下午,在谭青海教授的带领下,来自集成电路学院/国家示范性微电子学院的14名大一本科生怀揣着对集成电路领域的好奇与憧憬,走进集成电路实验中心,开启了一场别开生面的科研启蒙“芯动之旅”。此次参观旨在通过零距离接触,让初入专业殿堂的大一学生直观了解集成电路实验环境、厂务运行及核心设备,为未来的专业学习与科研创新埋下探索的种子。集成电路实验中心工程师庞虎、工程师袁威、科研助理刘伊...
3月12日上午,集成电路实验中心举办开放日系列活动之“国产扫描电子显微镜”专题报告会,聚焦国产设备扫描电子显微镜这一核心装备,从设备研发背景、核心技术原理、关键性能参数及产业应用场景等方面展开细致解读,重点介绍了国产设备的技术优势与突破,深化同学们对国产扫描电子显微镜设备的认知与认同。会议由科研助理王静主持。 本次活动是集成电路实验中心面向广大师生持续推出的设...
3月10日,集成电路实验中心三室磁控溅射顺利入场,中心在微纳加工平台建设上迈出坚实的一步,为前沿科研探索、高端人才培养及产业协同创新注入新的动能。(配图:磁控溅射设备搬入) 作为集成电路制造工艺中的核心装备之一,磁控溅射设备肩负着金属薄膜沉积、电极制备、先进器件研发等关键任务。本次入驻的三室磁控溅射设备具备多靶材共溅射、高精度膜厚控制等突出优势,能够支持从基础...
3月10日,集成电路实验中心迎来了新学期第一批开放日参观队伍。100名本科生在教授孙海定的带领下来到实验中心,近距离感受工艺制造的奥秘与魅力。本次活动由学院副院长岳夫永主持。 活动伊始,岳夫永为同学们带来了一场深入浅出的专题讲座。从集成电路的基本概念入手,系统介绍了完整的芯片制造流程,帮助同学们建立起对工艺制造过程的整体认识。讲座过程中,同学们认真听讲,不时记录,...